Polisseuses SpeedFam IPEC CMP remises à neuf
Entrepix peut remettre à neuf quatre modèles différents de polisseuses SpeedFam IPEC CMP.
SpeedFam IPEC Avanti 472
Spécifications et capacités :
Outil CMP de précision entièrement automatisé
Planarisation de plaquettes de 100 mm à 200 mm
Convient pour des applications de polissage de matériaux reproductibles avec une flexibilité opérationnelle et de traitement
Manipulation automatique des plaquettes
La capacité de polissage à deux plateaux et en deux étapes maximise la capacité de production et la qualité des plaquettes.
Enlève les matériaux semi-conducteurs à l'aide d'une boue de polissage pour planariser les plaquettes afin d'en assurer la planéité et l'uniformité.
Permet un polissage de précision entièrement automatisé, une flexibilité de traitement et des résultats reproductibles.
Taille des plaquettes : 2 pouces, 3 pouces, 100 mm, 125 mm, 150 mm et 200 mm
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