Un équipement sur mesure, adapté à vos besoins

Entrepix est là pour vous aider, qu'il s'agisse d'applications nécessitant des personnalisations de niche, de notre offre d'équipements ou du développement d'un module de nettoyage ou de CMP préétabli pour votre système.

Outils personnalisés OnTrak DSS-200

Entrepix a conçu un DSS-200 OnTrak personnalisé avec un couvercle de boîte à pinceaux noirci, des couvercles d'essorage et de sortie pour éviter d'endommager les plaquettes photosensibles, les filtres du ventilateur HEPA, etc.

Nous avons conçu ce DSS-200 OnTrak personnalisé pour répondre à la situation unique d'un client. Les caractéristiques sur mesure comprenaient

  • Le couvercle de la boîte à pinceaux ainsi que les couvercles d'essorage et de sortie ont été noircis pour éviter d'endommager les plaquettes photosensibles.

  • La conception spéciale du couvercle de la brosse lui permet de servir de station d'attente pour les cassettes.

  • Unités de filtration HEPA pour créer un flux d'air laminaire dans les stations de post-nettoyage

  • Entrées et sorties de fluides configurées sur mesure et passant par l'extrémité gauche de l'outil pour s'adapter à un agencement unique de la salle blanche.

 Adaptation des techniques de nettoyage de 200 mm à celles de 300 mm

Entrepix a adapté la technologie de nettoyage de 200 mm et moins pour qu'elle fonctionne dans des formats modulaires de 300 mm.
Entrepix a adapté la technologie de nettoyage de 200 mm et moins pour qu'elle fonctionne dans des formats modulaires de 300 mm.

Nous avons adapté notre technologie de nettoyage de 200 mm et moins à 300 mm dans un format modulaire, mettant ainsi notre technologie de pointe à la disposition d'un marché plus large. Notre technologie peut être intégrée dans votre équipement dès aujourd'hui.

 Nettoyage modulaire pour répondre à vos besoins

Les technologies de nettoyage de notre OnTrak DSS-200, qui a fait ses preuves, sont désormais disponibles pour être intégrées dans votre système de traitement des plaquettes ! Avec plus d'un milliard de plaquettes passées par les outils OnTrak, nous proposons des solutions de modules de nettoyage fiables et clés en main qui répondent exactement à vos besoins.

Obtenir un produit sur mesure

Vous voulez des options uniques pour votre application ? Vous avez besoin de quelque chose qui n'existe pas encore ? Nous le fabriquons pour vous. Dites-nous ce dont vous avez besoin et nous vous répondrons dans les plus brefs délais.