
Polisseuses de plaquettes Strasbaugh CMP
Entrepix travaille avec trois modèles différents d'équipement CMP de Strasbaugh.
Strasbaugh 6DS-SP nTegrity
Spécifications et capacités :
Polissage de précision entièrement automatisé
Idéal pour les applications qui exigent une répétabilité avec une flexibilité opérationnelle et de traitement
Manipulation automatique des plaquettes
Possibilité de polir deux plaquettes sur un seul plateau pour maximiser la capacité et la quantité de production
Enlève les matériaux pour polir les plaquettes et obtenir la planéité, l'uniformité et la planarisation sur les plaquettes de dispositifs en nappe ou à motifs.
Flexibilité de traitement
Des résultats reproductibles
Taille des plaquettes de 100 mm à 200 mm
Strasbaugh 6EC nSpire
Spécifications et capacités :
Outil CMP économique pour la recherche, l'analyse des défaillances et la production en petite quantité
Opérations semi-automatiques programmables à l'aide d'un écran tactile couleur
Contrôle répétable et précis des processus
Une pompe à boues standard, option pour une deuxième pompe à boues
Petites dimensions : 48" x 37" x 72"
Conditionnement des tampons
Taille des plaquettes : 4 pouces, 6 pouces ou 8 pouces
Strasbaugh 6EG nHance
Spécifications et capacités :
Outil CMP économique pour la recherche, l'analyse des défaillances et la production en petite quantité
Opérations semi-automatiques programmables à l'aide d'un écran tactile couleur
Contrôle répétable et précis des processus
Possibilité de polir deux plaquettes sur un seul plateau pour maximiser la capacité de production et la quantité.
Enlève les matériaux pour polir les plaquettes et obtenir la planéité, l'uniformité et la planarisation sur les plaquettes de dispositifs en nappe ou à motifs.
Flexibilité de traitement
Des résultats reproductibles
Taille de la plaquette de 300 mm
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