Le nouveau Entrepix
La nouvelle génération du système OnTrak est disponible, directement auprès de l'équipementier.
Le nettoyeur de wafers post-CMP double face Entrepix DSS-200 modernisé offre les mêmes fonctionnalités que le système OnTrak avec de nombreuses améliorations pour répondre aux exigences des processus de nettoyage d'aujourd'hui.
En tant qu'équipementier des systèmes OnTrak, Entrepix a conçu le NOUVEAU DSS-200 OnTrak pour sa fiabilité et sa longévité, avec une assistance et des pièces de rechange sur lesquelles vous pouvez compter.
Nos nettoyeurs DSS-200 offrent :
Système de commande moderne basé sur Windows™
Technologie de manipulation de plaquettes « Advanced Precision Touch » pour les substrats ultra-fins et fragiles
Possibilité d'échange de pièces avec les anciens systèmes OnTrak
Configuration pour un substrat de 100-200 mm
Adaptation aux plaquettes plus petites grâce à des supports conçus sur mesure
Les applications du DSS-200 comprennent
Nettoyage post-CMP
Nettoyage avant collage
Nettoyage pré-photo
Applications d'emballage avancées
Dépôt post-métallique
Dépôt post-ILD
Post-prescription
Fabrication de substrats
Le nouveau système de commande Entrepix enTrak pour le DSS-200 optimise la fiabilité de l'outil, évite les temps d'arrêt liés à l'obsolescence et simplifie la configuration et l'accès des utilisateurs.
Système moderne fonctionnant sous Windows™
Fonctionnalité fiable de récupération des plaquettes
Traçabilité améliorée grâce à la journalisation des événements
Sécurité avancée grâce au contrôle d'accès basé sur les rôles (RBAC)
Messages d'alarme personnalisables
Mise en œuvre d'un écran de programmation de robot pour un temps de configuration rapide
Procédure de mise à jour simple
Mises à jour OnTrak
Les mises à niveau des anciens systèmes OnTrak avec support OEM sont disponibles pour vous, prêtes à l'emploi. Les options de mise à niveau comprennent :
Mise à niveau du système de contrôle et du logiciel
Chariot de rotation en Hastelloy
Lampe chauffante à haute efficacité
Nettoyage par mégasons
Conservation de l'eau DI
Livraison à travers la brosse
Dilution du mélange en ligne
Kits de changement de format de plaquettes, y compris des formats sur mesure
Assistance pièces détachées OnTrak
Entrepix fournit des composants OEM de haute qualité non seulement pour la nouvelle génération de nettoyeurs DSS-200, mais aussi pour les plateformes Lam OnTrak DSS Series 1, Series 2 Classic et CE, Synergy et Integra.
Toutes les pièces OnTrak sont sélectionnées ou conçues pour satisfaire et dépasser les normes d'origine. Nous effectuons des contrôles approfondis à l'entrée et à la sortie afin de nous assurer que nos clients obtiennent exactement ce dont ils ont besoin.
Solutions personnalisées pour le kit PM
Que vous ayez un tout nouveau DSS-200 avec une configuration standard ou un système OnTrak éprouvé depuis des décennies avec une multitude de personnalisations, nous avons un kit PM pour vous. Notre groupe d'experts et d'ingénieurs peut vous conseiller sur la meilleure solution pour répondre à vos besoins et peut assembler un kit PM pour votre application spécifique.
| Entrepix Série 2 CE | Entrepix Synergy | Entrepix Integra | |
|---|---|---|---|
| Méthode de nettoyage | Brosse à récurer | Brosse à récurer | Brosse à récurer |
| Intégré | Non | Non | Oui |
| Type de brosse | Rouleau PVA | Rouleau PVA | Rouleau PVA |
| Contrôle de la force portante | Oui | Oui | Oui |
| Gommage des bords | En option | En option | En option |
| MegPie™ Transducteur à mégasons | En option | En option | En option |
| Buse mégasonique | En option | En option | En option |
| Pulvérisation d'eau DI à haute pression | En option | En option | En option |
| Alimentation en eau DI chauffée | En option | En option | En option |
| Méthode de séchage | Spin + Heat Lamp | Spin + Heat Lamp | Spin + Heat Lamp |
| NH4OH | Oui | Oui | Oui |
| dHF | Non | Oui | Oui |
| SC-1 | Pré-dilué : Oui | Oui | Oui |
| SC-2 | A base d'acide citrique : Oui | A base de Citric OR HCL : Oui | A base de Citric OR HCL : Oui |
| Arrière-plan chimique | Oui | Oui | Oui |
| Nettoyage des métaux CMP | Oui | Oui | Oui |
| STI CMP Cleans | Oui | Oui | Oui |
| Zone de traitement à double enveloppe | Non | Oui | Oui |
Vous rencontrez des difficultés pour nettoyer vos plaquettes ?
La chimie peut vous aider ! N'hésitez pas à nous contacter pour en savoir plus sur les solutions de nettoyage sur mesure proposées par Intersurface Dynamics, partenaire d'Amtech.
