Modernisation des équipements

Les mises à niveau OEM d'Entrepix permettent d'améliorer l'efficacité, la précision et la fiabilité.

Entrepix peut améliorer de nombreux aspects des capacités d'OnTrak : remplacement du matériel et des logiciels, mise à jour du système de contrôle, du système de données et des fichiers journaux, récupération des plaquettes par module, moteur de brosse et de chariot, chariot en Hastelloy, sécurité de la lampe chauffante et débit.

Mises à jour OnTrak

Entrepix peut améliorer de nombreuses facettes des capacités d'OnTrak :

  • Remplacement du matériel et des logiciels, mise à jour du système de contrôle

  • Système de données et fichiers journaux

  • Récupération de plaquettes par module

  • Moteur de la brosse et du chariot

  • Chariot en Hastelloy

  • Sécurité et rendement de la lampe chauffante

  • Contrôleur de débit et d'eau DI

  • Modernisation du mélange et de la dilution en ligne

  • USB et disque dur à l'état solide

  • Pince à cinq doigts pour gaufrettes

  • Modernisation de l'alimentation électrique

  • PCB

  • Remplacement des composants obsolètes

Applied Materials Mirra Upgrades (en anglais)

Entrepix crée des mises à niveau, des pièces de rechange, des solutions personnalisées et des services de maintenance préventive qui maintiennent et améliorent les performances de la plate-forme Mirra pour les 10 à 15 prochaines années.

Les améliorations disponibles sont les suivantes :

  • Moteur de rotation de la tête

  • Moteur de balayage de la tête

  • Conducteur de robot humide

  • Amélioration et remplacement des assemblages de moteurs

  • Ensemble pneumatique supérieur (UPA)

  • Délocalisation de l'UPA

  • Remplacement des raccords rotatifs pneumatiques et des bagues collectrices

  • Gestion des câbles à haute flexibilité

  • Capteur de glissement (perte) de la plaquette

  • Assemblage et mise à niveau du conditionneur de tampon DDF3

  • Solutions de remplacement de la tête Mirra

  • Couvercle transparent

  • Cartes de circuits imprimés

  • Assemblage de remplacement complet

  • Testeur de tête de polissage

  • Matériel d'étalonnage et d'essai

  • Contrôle des flux de boues et de produits chimiques

  • Remplacement du double affichage

  • Tiroir d'alimentation en courant continu et disques d'état solide

  • Réduction des ruptures de plaquettes

  • Consommables pour HCLU et têtes de polissage

 

Applied Materials Reflexion® Upgrades (en anglais)

Entrepix est entré sur le marché des équipements de 300 mm pour fournir des mises à niveau, des pièces de rechange, des solutions personnalisées et des services de maintenance qui soutiennent et améliorent les plates-formes Reflexion® utilisées par les HVM pour les années à venir.

Les améliorations disponibles sont les suivantes :

  • Amélioration et remplacement des assemblages de moteurs

  • Ensemble pneumatique supérieur (UPA)

  • Déplacement de l'UPA (zones 3 et 4)

  • Remplacement des raccords rotatifs pneumatiques et des bagues collectrices

  • Assemblage et mise à niveau du conditionneur de tampon DDF3

  • Solutions de remplacement de la tête Reflexion (Titan, Profiler, Contour, Evo, Horizon)

  • Couvercles transparents

  • Revêtements en téflon pour la réduction des particules

  • Ensembles de remplacement complets

  • Testeur de tête de polissage Entegrity

  • Matériel d'étalonnage et d'essai

  • Contrôle des flux de boues et de produits chimiques

  • Consommables pour le nettoyeur, le godet de chargement et la tête de polissage