
Programmes et services de maintenance préventive du CMP
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Service d'entretien préventif de la polisseuse générale
Nettoyage et inspections générales
Nettoyer et lubrifier tous les rails et les entraînements
Équipement de base
Étalonnage des charges
Sortie de la platine
Étalonnage du balayage tête/bras
Le chariot et la platine sortent de leur logement
Étalonnage de la force descendante
Étalonnage de la contre-pression
Vérification du fonctionnement du climatiseur
Décharger les étalonnages
Traitement des questions spécifiques aux outils
Éléments supplémentaires spécifiques à l'ensemble des équipements
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Entretien préventif du nettoyeur
Vérifier et calibrer le maniement
Vérification du fonctionnement de la station d'essorage
Remplacer les courroies du rouleau de la brosse
Étalonnage du parallélisme des brosses
Vérifier tous les cylindres pneumatiques
Rouleaux et courroies de la station d'entrée
Remplacement des joints toriques de la station d'entrée
Courroies d'entraînement de la station de sortie
Calibrage de l'entraînement de la station de brossage
Joints toriques de la station de brossage
Ajuster la station de sortie
Inspecter les pointes des releveurs
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Entretien préventif de l'ellipsomètre Rudolph
Évaluation de base
Sauvegarde des fichiers de données
Examiner et traiter les journaux d'erreurs
Vérifier les niveaux de vide
Tests de maniabilité
Nettoyer et lubrifier l'étage
Vérifier le décalage du centre de la scène, l'orthogonalité et l'excentricité
Vérifier la lampe findler plate/à encoche
Moniteurs d'intensité des tests
Tester l'intensité des lasers HeNe et IR
Vérifier l'uniformité de la lampe du microscope
Étalonnage de toutes les longueurs d'onde