Programmes et services de maintenance préventive du CMP

  • Service d'entretien préventif de la polisseuse générale

    Nettoyage et inspections générales

    Nettoyer et lubrifier tous les rails et les entraînements

    Équipement de base

    Étalonnage des charges

    Sortie de la platine

    Étalonnage du balayage tête/bras

    Le chariot et la platine sortent de leur logement

    Étalonnage de la force descendante

    Étalonnage de la contre-pression

    Vérification du fonctionnement du climatiseur

    Décharger les étalonnages

    Traitement des questions spécifiques aux outils

    Éléments supplémentaires spécifiques à l'ensemble des équipements

  • Entretien préventif du nettoyeur

    Vérifier et calibrer le maniement

    Vérification du fonctionnement de la station d'essorage

    Remplacer les courroies du rouleau de la brosse

    Étalonnage du parallélisme des brosses

    Vérifier tous les cylindres pneumatiques

    Rouleaux et courroies de la station d'entrée

    Remplacement des joints toriques de la station d'entrée

    Courroies d'entraînement de la station de sortie

    Calibrage de l'entraînement de la station de brossage

    Joints toriques de la station de brossage

    Ajuster la station de sortie

    Inspecter les pointes des releveurs

  • Entretien préventif de l'ellipsomètre Rudolph

    Évaluation de base

    Sauvegarde des fichiers de données

    Examiner et traiter les journaux d'erreurs

    Vérifier les niveaux de vide

    Tests de maniabilité

    Nettoyer et lubrifier l'étage

    Vérifier le décalage du centre de la scène, l'orthogonalité et l'excentricité

    Vérifier la lampe findler plate/à encoche

    Moniteurs d'intensité des tests

    Tester l'intensité des lasers HeNe et IR

    Vérifier l'uniformité de la lampe du microscope

    Étalonnage de toutes les longueurs d'onde

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OnTrak remis à neuf