Test de remplacement du film de la tête porteuse CMP - Semiconductor Digest

Le choix des films de support pour les supports de plaquettes rigides peut influencer de manière significative la qualité et le rendement du produit semi-conducteur final. Avec l'arrêt des films Pureon DF200, nous avons évalué trois produits de remplacement possibles et comparé les résultats sur de multiples facteurs, y compris le taux d'enlèvement moyen, la plage induite moyenne, le WIWNU% moyen ainsi que le WTWRR%. Voir les résultats complets ici. Merci à Semiconductor Digest d'avoir publié cette importante étude dans son édition de juillet 2024.